UGA 系列——腐蝕性氣體的理想選擇

UGA-氫氣系列（UGA w/opt. 3）——適用于高濃度 H 2

ULT 系列——低成本解決方案（起價 28,000 美元）

UGA 和 U LT系列通用氣體分析儀是**的臺式質(zhì)譜儀，可在大氣壓以上至 UHV 范圍內(nèi)運行。它們是氣體混合物在線監(jiān)測和分析的理想選擇。無論您是測量痕量污染物、溶劑、碳?xì)浠衔?、制冷劑還是腐蝕性氣體，您的通用氣體分析儀都能勝任這項任務(wù)。

UGA 應(yīng)用包括半導(dǎo)體廢氣監(jiān)測、手套箱分析、燃料電池研究、氟利昂檢測、污染監(jiān)測、發(fā)酵研究和一般研發(fā)真空分析。

這些分析儀也易于操作和維護(hù)。機(jī)箱設(shè)計允許儀器垂直或水平操作，同時支持前面板和計算機(jī)操作。U LT系列是針對要求不高的應(yīng)用的簡化設(shè)計。

工作原理

特高壓應(yīng)用

UGA 系統(tǒng)使用兩級減壓入口進(jìn)入大氣壓下的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后，氣流被送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀——RGA），該質(zhì)譜儀測量每個感興趣的質(zhì)量的濃度。

UGA Windows 軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。

對于10 -1到10 -4  Torr范圍內(nèi)的氣體采樣，使用真空入口組件。只需將 2 ?" CF 至 ?" 管適配器連接到 CF 端口之一，然后根據(jù)入口壓力調(diào)整管的長度。

為 UHV 應(yīng)用(<10 -4  Torr)提供了對 RGA 的直接訪問。真空入口組件的任何 2 ?" CF 端口均可用于連接到您的真空室。

多毛細(xì)管進(jìn)樣口（僅* UGA 系列）

直接連接

可選的多端口采樣入口由 16 個安裝在歧管上的閥組成，可與各種毛細(xì)管一起使用。

加熱室（僅* UGA 系列）

UGA 系統(tǒng)配備了用于真空室（包括 RGA）、渦輪泵連接器和真空入口組件的單獨加熱器。在烘烤期間，系統(tǒng)可以加熱到 120 °C。

雙隔膜泵（僅* UGA 系列）

單獨的隔膜泵用于處理渦輪泵的旁通流量和回流。這種架構(gòu)允許在不損壞 RGA 和渦輪泵的情況下分析腐蝕性氣體（氯、氟等），并且?guī)缀跸嘶亓鲉栴}。測量高濃度的低質(zhì)量氣體（氫氣、氦氣等）不再是問題。

渦輪泵排氣（UGA 和 U LT）

渦輪泵排氣口的可選閥門和入口可供希望用干燥氮氣（或其他惰性氣體）排氣的用戶使用。這使泵免受空氣中存在的水和其他污染物的影響。

軟件系統(tǒng)控制

使用你的 UGA

UGA 系統(tǒng)可以通過前面板或計算機(jī)進(jìn)行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動或自動控制選擇。

使用 UGA 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計劃在*定時間采集數(shù)據(jù)。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數(shù)也可以通過上等 ASCII 命令集進(jìn)行控制和監(jiān)視。標(biāo)準(zhǔn) RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路。

UGA 系列大氣壓分析儀

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